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技術文章

光譜橢偏儀你知道多少呢?

  橢偏儀的適用樣品范圍很廣,紫外至近紅外波段透過半透過等材料都不在話下,也就是可以表征絕大部分的半導體和介電薄膜材料,甚至厚度在幾十納米以下的金屬薄層也是囊中之物。
  橢偏儀可以直接測量樣品折射率和消光系數,也就是光的吸收強度;
  在此基礎上,我們可以鑒定樣品的組分和帶隙;
  后通過與強大的軟件分析相結合,樣品信息如厚度、粗糙度、均勻度、孔隙率、電導率等,在橢偏儀面前一覽無余。
  SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀??蓪崿F科研/企業級高精度快速光譜橢偏測量,支持多角度,微光斑,可視化調平系統等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設計。
  二、光譜橢偏儀產品特點
  1.采用高性能進口復合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm),可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
  2.  高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現Psi/Delta光譜數據高速采集;
  3. 支持系列配置靈活,可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制;
  4. 數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
  廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現光學薄膜、納米結構的光學常數和幾何特征尺寸快速的表征分析。
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