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產品詳細頁
  • 帶有預熱系統的滑動PECVD

帶有預熱系統的滑動PECVD

簡要描述:OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統,組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐,預熱爐(作用為使固體原料蒸發)和德國進口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

  • 產品型號:OTF-1200X-50-II-P
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2021-03-09
  • 訪  問  量:75

產品介紹

品牌深圳科晶產地類別國產
應用領域醫療衛生,化工,生物產業,石油
特點

與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫多薄膜損壞可以通過爐體滑動來達到快速升溫 和快速障溫的效果

爐體有兩個溫區,可在爐體內形成溫度梯度,兩個溫區溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃

帶有預熱爐,溫度為1100℃,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區滑軌爐

 

連續工作溫度為1100℃

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字查看詳細資料)兩個溫控系統獨立控制兩個溫區,都可設置30段升降溫程序每個溫區長度為200mm總溫區長度∶ 400mm

恒溫區∶200mn(兩個溫區設置同樣的溫度)注∶由于則量手段及外部環境的影響,則里結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員

兩個溫區溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管

石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相

功率∶4KW

等離子射頻發生器

輸出功率∶ 5 -500W可調穩定性為∶ +/-1%

射頻電源頻率∶1356MH, 穩定性=0.005%

反向功率∶200W

射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導體.

陰極噪音∶<50 dB.

冷卻方式∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC,50/60Hz

預熱爐

一款小型單溫區管式爐,加熱區為200mm

溫度∶ 1100℃

可設置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻

氣體通過等離子射頻電源前,先通過預熱爐

也可將固體和液體原料放在預熱爐中,氣化后與氣體原料相混合

防腐型數顯真空計
測量范圍3.8x10->至 1125 Torr
當氣壓在10mbar以上時,可獨立測量各種氣體,不必做校正(包括混合氣體)對于氣體的壓力檢測具有較高的準確度和重復性信號響應時間較短(S30ms)
因為傳感器上鍍有防腐涂層,所以具有較好的抗腐蝕性
真空泵和閥

可以從本公司選購以下幾種真空泵

如您想獲得更高的真空度(<10-》tor orbeter)可選國產或進口高真空機組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件

電動滑軌可將電動滑軌安裝在爐體下端,將爐體署動,以達到快速升溫和快速障溫的效果骨動速度∶ 0-70 mm/s(可調)
升溫和降溫速率

FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內,將控溫程序和溫度曲線導入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費用 在本公司購買)

為了獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設定溫度,然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C)

10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C);

7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C);

23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C);

1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃);

1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C);

0.5℃C/sec (400℃-300℃);

0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C);

可選可以選購2-4通道質子流里計混氣系統
外形尺寸

爐體∶550x380x 520 mm

滑軌長度∶ 1750 mm

凈重 220 Lbs.
質保期一年質保期,終生維護(不包括爐管、密封圈和加熱元件)
質量認證 CE Certified
使用注意事項
爐管內氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購喊壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<、1100°℃C
對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于002MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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