歡迎來到南京淳寅嘉生物科技有限公司網站!

你的位置:首頁 > 產品展示 > 合肥科晶 > CVD/PECVD/ALD系統 >小型滑動PECVD管式爐系統

產品詳細頁
  • 小型滑動PECVD管式爐系統

小型滑動PECVD管式爐系統

簡要描述:小型滑動PECVD管式爐系統是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)(等離子體化學氣相沉積)滑動式開啟式管式爐系統。此套設備?帶有300W的等離子射頻電源,—個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和機械泵組成。因此這套設備模型可以更新為不同的?PECVD 系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索;

  • 產品型號:OTF-1200X-50S-PE-S
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2021-03-30
  • 訪  問  量:64

產品介紹

品牌合肥科晶產地類別國產
應用領域醫療衛生,環保,化工,生物產業,農業
特點與普通CVD相比可以在低溫環境下進行氣相沉積實驗可以通過爐體滑動達到快速升溫和降溫 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制通過工藝調節來控制化學計量 可以沉積各種材料,如SiOx.SiNx.SiOxNy和(a-SiH) 等
開啟式管式爐

輸入電源∶208-240V AC,功率;1.2kW

工作溫度頂值1200℃,小于60分鐘

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字了解涂層的詳細參數)

連續工作溫度1100°C

爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L

可設置30段升降溫程序,并且帶有過熱和斷偶保護功能

加熱區長度∶200mm 單溫區

 恒溫區2.3"(60mm)(+-15℃)@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環境的影響,測里結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員

等離子體射頻電源

輸出功率:5 .300W 可調 穩定性±1%

射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩定性±0.005%

反向功率頂值∶ 200W

匹配∶ 自動

射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω,N型半導體,陰極

噪音∶ <50 dB.

冷卻∶風冷

電源∶208-240VAC,50/60HZ

真空法蘭和接頭

真空法蘭采用 304不銹鋼制作.

左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口,2個KF-25快速卸裝卡箍,KF-25直角閥,KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥

真空泵及水冷機

 AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W

2Liter /S

出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環境和人體健康)

真空度∶ 10-2 torr

可選水冷機

產品尺寸和重量

外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm (長x寬x高)

凈重∶160kg

質保期年質保期,終身維護(相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件)
質量認證 CE Certified
使用注意事項:

工作時需連接水冷設備

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由干氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200sCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
在線咨詢
QQ客服
QQ:1039394802
電話咨詢
17705151334
關注微信
越南肥女bbhd,免费可看黄的视频网站,苍井空免费av片在线观看gva
掃一掃訪問手機站掃一掃訪問手機站
訪問手機站