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  • 雙爐體滑動PECVD系統、循環手套

雙爐體滑動PECVD系統、循環手套

簡要描述:雙爐體滑動PECVD系統&循環手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統,并目連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新—代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

  • 產品型號:OTF-1200X-PESDFG-5
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2021-03-30
  • 訪  問  量:74

產品介紹

品牌合肥科晶產地類別國產
應用領域醫療衛生,環保,化工,生物產業,農業
爐體結構

兩個爐體在一個滑軌上面,和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果

連續工作溫度∶1100℃ 

兩個爐體都可以設置30段升降溫程序

等離子體射頻電源

輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005% 

射頻頂值功率∶ 500W

匹配∶ 自動匹配

噪音∶<50 dB.

冷卻∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統

采用vRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr 

KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連

管內真空可達10E-2 Torr

質量流量計混氣系統

四個精密的質量流量計(精度1.5%)∶ 數字顯示,自動控制. 

MFC1范圍∶ 0~100 sccm

MFC2和3∶ 0~200 sccm 

MFC4范圍∶ 0~500 sccm

一個混氣罐,底部裝有泄廢液口. 

4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體.

進氣口∶4個1/4NPS.

出氣口∶4個 1/4NPps. 

采用PLc控制流量計,通過觸摸屏進行控制

可選購氣液混合裝置,用于cvD系統

爐管&密封法蘭

高純石英管,尺寸50毫米 O.D x  44毫米 I.D  x  1800 毫米 L

配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計

防腐型真空計

輸入電源 24v,1A DC(配有一電壓轉換器)

測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr. 

數據顯示 數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

接頭 KF16 接頭 

產品尺寸46mm×28mm×126mm(長x寬x高)

循環手套箱

手套箱尺寸∶ 780mm(L)x700mm(W)×650mm(H)

帶有除水系統∶保持水含量<2 ppm 

-真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管相連接

質保期一年質保期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質量認證

CE認證

所有電器元件(輸入電話員<24V)都通過連UL/MET/CSA認證

 

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